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1、確保光刻相關(guān)工藝的穩(wěn)定，熟練操作工藝設(shè)備并處理工藝異常；
2、負(fù)責(zé)擬定光刻工藝開發(fā)計(jì)劃，開發(fā)流程及新工藝驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)；
3，負(fù)責(zé)光刻機(jī)及光刻相關(guān)設(shè)備的安裝調(diào)試、驗(yàn)收、異常處理和日常維護(hù)；
4，監(jiān)控產(chǎn)品數(shù)據(jù)、良率等，及時(shí)調(diào)整以保證產(chǎn)品質(zhì)量；
5，配合研發(fā)部門進(jìn)行新技術(shù)研發(fā)，完成研發(fā)部門的新技術(shù)轉(zhuǎn)移工作；
6，制定工藝規(guī)范文件，對(duì)技術(shù)員/操作人員技能培訓(xùn)；
7，光刻區(qū)事務(wù)管理以及完成上級(jí)安排的其它事宜。