崗位職責:
1、負責新型薄膜材料及工藝的研發(fā),優(yōu)化薄膜沉積(如CVD、PVD、ALD等)工藝參數(shù),提升器件性能及良率;設計并執(zhí)行DOE實驗,分析工藝窗口,推動薄膜工藝的持續(xù)改進;
2、對薄膜材料特性(如厚度、應力、均勻性)、缺陷數(shù)據及電性測試結果進行深度分析,識別關鍵影響因素;主導薄膜相關異常問題的根因分析,制定解決方案并驗證;
3、與器件設計、整合、制造等部門緊密合作,確保薄膜工藝滿足產品性能需求;支持新工藝從研發(fā)到量產的轉移,協(xié)助解決量產過程中的工藝問題;
4、跟蹤薄膜技術領域前沿進展,評估新工藝、新材料的可行性;
5、熟悉薄膜設備硬件架構,參與設備選型及調試,提升工藝穩(wěn)定性;
任職要求:
1、物理、光學、電子工程、化學工程、材料科學、數(shù)學等相關專業(yè)碩士及以上學歷,6年以上工作經驗;
2、熟悉DRAM/CMOS相關的電性及可靠性特性;
3、具有低電阻(Low Rs)金屬材料研究及工藝開發(fā)經驗;具備先進CMOS工藝開發(fā)經驗(如HKMG高介電金屬柵極技術)者優(yōu)先;
4、良好的溝通與團隊協(xié)作能力;擅長解決復雜問題,有領導跨職能專項任務組的經驗;