成立：2016年10月18日在上海注冊(cè)成立。注冊(cè)1415萬(wàn)元人民幣。高新技術(shù)企業(yè)，市“專(zhuān)精特新”企業(yè)。目前團(tuán)隊(duì)200+人。研發(fā)團(tuán)隊(duì)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)：研發(fā)團(tuán)隊(duì)50人；自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系（已申請(qǐng)專(zhuān)利57件（其中發(fā)明專(zhuān)利26項(xiàng)），已獲授權(quán)35項(xiàng)（其中中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利7項(xiàng)，美國(guó)專(zhuān)利1項(xiàng)）。產(chǎn)品：設(shè)備關(guān)鍵零部件-刻蝕機(jī)專(zhuān)用熒光光纖溫度傳感器、高精度溫度傳感器探頭、擴(kuò)散爐管Inner TC，溫濕度傳感器；晶圓測(cè)試傳感器—晶圓測(cè)溫系統(tǒng)、無(wú)線多物理量晶圓傳感器、腔體清潔晶圓等。產(chǎn)品應(yīng)用于光刻、干刻、薄膜、測(cè)試、封測(cè)等制程。資質(zhì)：國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)（2025年擬申請(qǐng)國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新小巨人企業(yè)）科技部攻關(guān)項(xiàng)目承擔(dān)單位；上海市科委兩項(xiàng)研發(fā)項(xiàng)目承擔(dān)單位上海市揭榜掛帥項(xiàng)目承擔(dān)單位；2024年申請(qǐng)經(jīng)信委“高質(zhì)量”項(xiàng)目上海市科技小巨人（培育）企業(yè)，浦東新區(qū)區(qū)級(jí)企業(yè)研發(fā)中心。