崗位職責:
1.負責FAB光刻模組track工藝技術工作;
2.推動和制定所負責track機臺的設備操作、recipe編輯、monitor控制計劃文件編寫,并持續(xù)改進;
3.進行新材料/新工藝研究,引入和評估新材料,新工藝,新機臺,新功能;
4.產品layer日常維護和品質異常的及時分析和處理;
5.參與新產品的工藝轉移或開發(fā),負責Track工藝部分的可行性評估、工藝條件建立和優(yōu)化;
任職資格:
1.微電子、電子工程、材料、化學、電子技術相關理工科等專業(yè)本科及以上學歷;
2.3年以上FAB光刻工藝經驗,有8/12寸功率器件FAB經驗優(yōu)先;
3.熟悉光刻track工藝原理和應用,track工藝開發(fā)、工藝試驗、異常處理等相關技能;
4.熟悉主流量測機臺如OVL/CD/THK/particle設備的基本原理和應用;
5.熟悉半導體晶圓廠MES/SPC系統(tǒng)的應用和運行邏輯;
6.了解半導體晶圓廠FDC,YMS,APC等高階CIM模塊的應用;