四川遠為芯途半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡稱“遠為芯途”），依托江蘇南通遠景智能裝備有限公司的雄厚產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，于2024年作為重點引進項目落戶四川省成都市經(jīng)開區(qū)。公司致力于打造西南地區(qū)規(guī)模最大的濕制程先進裝備（濕法工藝設(shè)備）研發(fā)制造基地。
遠為芯途集研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及服務(wù)于一體，專注于為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)客戶提供先進的工藝裝備解決方案。公司核心產(chǎn)品線涵蓋單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備以及供液系統(tǒng)設(shè)備等關(guān)鍵制程裝備。
公司擁有7000㎡現(xiàn)代化智能智造中心，深度整合來自中科院、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、電子科技大學(xué)及新南威爾士大學(xué)頂尖科研機構(gòu)的創(chuàng)新力量。 依托人工智能與跨尺度仿真計算的核心能力，遠為芯途成功構(gòu)建了AI驅(qū)動的介尺度繞流清洗工藝體系，一舉奠定了晶圓清洗領(lǐng)域國內(nèi)一流的地位；同時，獨創(chuàng)的“高粘液體薄膜射流超細霧化技術(shù)”，為常溫IPA干燥、直寫式涂膠機等核心裝備提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐，成功填補了國內(nèi)相關(guān)技術(shù)空白并達到國際先進水平。憑借這些核心技術(shù)優(yōu)勢，遠為芯途為全球晶圓制造、先進封裝及其他泛半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶提供高度定制化的裝備及工藝整體解決方案。
遠為芯途始終堅持自主研發(fā)創(chuàng)新，逐一攻克關(guān)鍵設(shè)備技術(shù)壁壘，矢志不渝地推動高端半導(dǎo)體裝備的國產(chǎn)化與自主可控進程，奮力書寫中國“智”造的新篇章。