一、崗位職責(zé)
1. 設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā):
(1)根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備(如刻蝕機(jī)、CVD、PVD、離子注入機(jī)等)的具體工藝需求和真空腔室要求,設(shè)計(jì)新型真空閥門(如閘板閥、角閥、擺閥、隔膜閥等)或改進(jìn)現(xiàn)有設(shè)計(jì)。
(2)進(jìn)行詳細(xì)的機(jī)械設(shè)計(jì),包括結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、密封設(shè)計(jì)(金屬密封、彈性體密封)、材料選擇(需考慮超高真空兼容性、耐腐蝕性、低放氣性、無(wú)磁性等)。
(3) 利用CAD軟件(如SolidWorks, Creo, CATIA, NX)進(jìn)行3D建模和2D工程圖紙繪制。
(4)進(jìn)行公差分析、應(yīng)力分析(靜力學(xué)、動(dòng)力學(xué))、熱變形分析、模態(tài)分析等,確保設(shè)計(jì)的可靠性和性能。
(5) 設(shè)計(jì)或選擇與閥門配套的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(氣動(dòng)、電動(dòng)、壓電等)、反饋傳感器(位置、力)和連接部件。
2. 分析與仿真:
(1)運(yùn)用有限元分析工具進(jìn)行結(jié)構(gòu)強(qiáng)度、剛度、疲勞壽命、熱應(yīng)力、振動(dòng)等仿真分析。
(2) 進(jìn)行流體動(dòng)力學(xué)分析,優(yōu)化閥門流導(dǎo)、減少氣流擾動(dòng)和顆粒產(chǎn)生。
(3) 參與或主導(dǎo)閥門開(kāi)關(guān)動(dòng)態(tài)特性(速度、沖擊、平穩(wěn)性)的仿真與優(yōu)化。
3. 原型制造與測(cè)試:
(1)與供應(yīng)商或內(nèi)部制造團(tuán)隊(duì)協(xié)作,確保原型零件和組件的精密加工符合圖紙和規(guī)范要求。
(2) 搭建測(cè)試平臺(tái),制定詳細(xì)的測(cè)試計(jì)劃(包括功能測(cè)試、性能測(cè)試、壽命測(cè)試、環(huán)境測(cè)試)。
(3) 執(zhí)行真空閥門的關(guān)鍵性能測(cè)試:真空性能、密封性能、運(yùn)動(dòng)性能、耐久性/壽命、循環(huán)壽命測(cè)試等。
4. 工藝與制造支持:將設(shè)計(jì)成功轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)階段,制定詳細(xì)的生產(chǎn)工藝規(guī)范和質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn);解決量產(chǎn)過(guò)程中出現(xiàn)的機(jī)械設(shè)計(jì)、裝配、測(cè)試相關(guān)的技術(shù)問(wèn)題;優(yōu)化設(shè)計(jì)以提高可制造性、降低成本、提升良率; 審核供應(yīng)商的制造能力和質(zhì)量控制流程。
5. 跨職能協(xié)作與問(wèn)題解決:
(1)與電氣工程師協(xié)作,設(shè)計(jì)或優(yōu)化閥門驅(qū)動(dòng)和控制系統(tǒng)。
(2)與工藝工程師緊密合作,理解工藝需求對(duì)閥門性能的具體要求(如快速響應(yīng)、高密封性、低顆粒產(chǎn)生、耐等離子體腐蝕)。
(3)與系統(tǒng)工程師、應(yīng)用工程師合作,將閥門集成到整機(jī)設(shè)備中,解決系統(tǒng)層面的接口和性能問(wèn)題。
(4) 為生產(chǎn)、客戶支持和現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)團(tuán)隊(duì)提供技術(shù)支持,快速有效地解決閥門相關(guān)的故障和客戶投訴,進(jìn)行根本原因分析。
6. 文檔與規(guī)范:
(1)編寫(xiě)和維護(hù)設(shè)計(jì)規(guī)范、測(cè)試報(bào)告、失效模式與影響分析、操作維護(hù)手冊(cè)等技術(shù)文檔。
(2)確保設(shè)計(jì)符合相關(guān)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(如SEMI標(biāo)準(zhǔn))和客戶特定要求。
(3) 管理設(shè)計(jì)變更流程。
7. 技術(shù)創(chuàng)新與改進(jìn):
(1)跟蹤行業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)(新材料、新結(jié)構(gòu)、新驅(qū)動(dòng)技術(shù)、新密封技術(shù)等)。
(2)識(shí)別現(xiàn)有產(chǎn)品的性能瓶頸或成本優(yōu)化機(jī)會(huì),提出并推動(dòng)創(chuàng)新解決方案。
(3) 參與專利申請(qǐng)和技術(shù)評(píng)審。
二、崗位職責(zé)
1. 學(xué)歷與專業(yè): 碩士及以上學(xué)歷,主修機(jī)械工程、精密儀器、機(jī)電一體化、材料科學(xué)與工程或相關(guān)專業(yè); 扎實(shí)的工程力學(xué)(靜力學(xué)、動(dòng)力學(xué)、材料力學(xué))、機(jī)械原理、機(jī)械設(shè)計(jì)、公差分析基礎(chǔ)。
2. CAD精通:熟練使用至少一款主流3D CAD軟件(SolidWorks, Creo (Pro/E), CATIA, NX),能獨(dú)立完成復(fù)雜裝配體設(shè)計(jì)和工程圖紙輸出(含GD&T)。 3.CAE基礎(chǔ):掌握有限元分析(FEA)原理,有使用ANSYS, Abaqus, COMSOL或類似工具進(jìn)行結(jié)構(gòu)應(yīng)力、熱變形、模態(tài)分析的經(jīng)驗(yàn)。
4.機(jī)械設(shè)計(jì)能力: 精通傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)、密封結(jié)構(gòu)(金屬/彈性體)、軸承選型、材料選擇與熱處理工藝。
5.真空技術(shù)基礎(chǔ):理解真空基礎(chǔ)理論(氣體分子運(yùn)動(dòng)論、流導(dǎo)計(jì)算、抽速); 熟悉超高真空(UHV)環(huán)境(通常要求 ≤10?? Pa)對(duì)材料和設(shè)計(jì)的特殊要求(低放氣、耐烘烤);了解常用真空泵、真空計(jì)及氦質(zhì)譜檢漏儀原理與操作(能解讀泄漏率數(shù)據(jù))。
4. 材料知識(shí): 熟悉超高真空兼容材料特性(如不銹鋼316L、無(wú)氧銅、鋁合金、陶瓷、特種聚合物如PEEK、Vespel、Kalrez等);了解材料放氣率、耐腐蝕性(針對(duì)Cl?, HBr, CF?等蝕刻氣體)、無(wú)磁性、熱膨脹系數(shù)匹配等關(guān)鍵屬性。
5.必須會(huì)日語(yǔ),能夠與日本團(tuán)隊(duì)溝通無(wú)阻。
6. 經(jīng)驗(yàn)要求:3-5年以上精密機(jī)械設(shè)計(jì)、真空設(shè)備或半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵部件開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn); 有**閥門類產(chǎn)品(尤其是真空閥) 或高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)、測(cè)試、量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)者優(yōu)先。
7.能夠接受出差。