工藝開發(fā)： 針對(duì)新產(chǎn)品或新制程節(jié)點(diǎn)，開發(fā)合適的濺射工藝菜單（Recipe），確定具體的參數(shù)，如濺射功率、氣壓、氣體流量（如氬氣）、沉積時(shí)間等；
參數(shù)優(yōu)化： 通過實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)（DOE）來調(diào)整工藝參數(shù)，以優(yōu)化薄膜的特性改善電性良率；
設(shè)備驗(yàn)證：參與新濺射設(shè)備（例如ANELVA-1060/VARIAN 3290/VARIAN 3280濺射臺(tái)）的搬入、安裝、調(diào)試以及驗(yàn)收確保設(shè)備性能符合工藝量產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)；
異常處理： 當(dāng)生產(chǎn)過程中出現(xiàn)薄膜性能不達(dá)標(biāo)或產(chǎn)品良率電性異常時(shí)（如膜厚異常、顆粒度超標(biāo)） ，需要進(jìn)行根本原因分析并提出糾正和預(yù)防措施；
過程控制：利用統(tǒng)計(jì)過程控制（SPC）工具監(jiān)控工藝穩(wěn)定性，識(shí)別產(chǎn)品過程波動(dòng)有無異常，攔截異常產(chǎn)品流出防止大批量不良產(chǎn)生；
物料驗(yàn)證：驗(yàn)證物料新供應(yīng)商或協(xié)助生產(chǎn)控制成本；
文檔編寫：編寫和維護(hù)作業(yè)指導(dǎo)書（SOP）等相關(guān)文件；
人員培訓(xùn)： 對(duì)產(chǎn)線技術(shù)員（Technician）或新員工進(jìn)行設(shè)備操作、安全規(guī)范及工藝原理的培訓(xùn)與考核；
協(xié)調(diào)各個(gè)工序進(jìn)行跨部門溝通與協(xié)作