工作職責(zé)：
1、負(fù)責(zé)離子注入機(jī)的日常維護(hù)、故障診斷與排除，確保設(shè)備CPK等關(guān)鍵指標(biāo)穩(wěn)定，減少工藝缺陷，提高產(chǎn)品良率。
2、支持SOI等相關(guān)技術(shù)的工藝開發(fā)，參與新機(jī)臺的工藝調(diào)試、Recipe編輯與驗(yàn)證。
3、主導(dǎo)或參與新設(shè)備的安裝、調(diào)試與驗(yàn)收全過程，確保設(shè)備正常交付使用。
4、制定設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)、操作SOP等文件，并開展部門內(nèi)員工的教育培訓(xùn)工作。
任職資格：
1、5年相關(guān)工作經(jīng)驗(yàn)；
2、掌握trident平臺的核心結(jié)構(gòu)（雙磁鐵帶狀束流架構(gòu)、能量純化模塊、低溫注入功能）及制程特點(diǎn)（多工序兼容性、劑量控制）；
3、具備獨(dú)立開機(jī)調(diào)試能力（設(shè)備及工藝）；
4、熟知Implant設(shè)備的廠務(wù)動(dòng)力及需求（動(dòng)力、特氣、高真空、注入溫控系統(tǒng)）；
5、通過專業(yè)的設(shè)備維護(hù)，直接保障生產(chǎn)線的高效、穩(wěn)定運(yùn)行，提升產(chǎn)能。