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崗位職責
1.負責蝕刻機（含干泵、射頻、氦漏、溫度控制系統(tǒng)等）的緊急維修與日常故障處理
2.解決蝕刻機五大核心系統(tǒng)（射頻/特氣/真空/傳送/冷卻）異常問題，包括氣體泄漏、冰水機冷媒故障等
3.執(zhí)行設備復相關機型保養(yǎng)計劃，完成針閥/APC閥/氣動閥定期維護
5.管理備件更換BOM清單，確保保養(yǎng)數(shù)據(jù)準確錄入系統(tǒng)
6.實時監(jiān)測射頻系統(tǒng)反射率/功率、機臺稼動率及大顆粒污染風險
7.識別硬件潛在故障點，制定預防性維護方案
8.配合工藝部門優(yōu)化設備運行穩(wěn)定性
67任職要求
1.熟悉五大系統(tǒng)（射頻/特氣/真空/傳送/冷卻）結構原理與維修
2.熟悉干泵/氦檢漏/溫度控制等子系統(tǒng)調(diào)試，具備備件自主維修能力
3.掌握8D問題分析法、TPM維護體系及低壓電工操作
67經(jīng)驗要求
1.3年以上半導體設備維修經(jīng)驗，有maxis設備移機/復機案例
2.應急響應：針對長宕機問題具備快速復機能力（≤4小時）
3.大專以上學歷，機械相關專業(yè)