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1、圍繞清華大學微納加工中心的建設(shè)目標，受中心主任的委派，承擔濺射與蒸發(fā)工藝研究與管理、及其相關(guān)數(shù)據(jù)的專業(yè)分析與撰寫報告。研究開發(fā)并維護濺射與蒸發(fā)工藝流程，研究并改進相關(guān)設(shè)備的工藝水平，對微納加工中心用戶的相關(guān)研究需求提供技術(shù)咨詢與加工服務(wù)，并對用戶進行設(shè)備操作與工藝培訓，保障對相關(guān)前沿科研與教學工作在濺射與蒸發(fā)技術(shù)領(lǐng)域的支撐。
2、負責濺射與蒸發(fā)設(shè)備及其相關(guān)設(shè)備的開放共享服務(wù)；
3、針對用戶對濺射與蒸發(fā)的特殊工藝需要，明確實驗目的及任務(wù)，設(shè)計總體實驗流程，優(yōu)化工藝參數(shù)，解析工藝實驗數(shù)據(jù),評估工藝質(zhì)量；
4、負責儀器設(shè)備技術(shù)與培訓資料的撰寫與更新，以及對用戶進行相關(guān)技術(shù)培訓與考核；
5、新進濺射與蒸發(fā)類設(shè)備的安裝、調(diào)試、實驗、驗收，與設(shè)備工程師合作完成；
6、支持與濺射與蒸發(fā)相關(guān)的實驗教學工作，負責儀器設(shè)備針對實驗教學的工藝開發(fā)與改進；
7、與設(shè)備工程師配合，完成濺射與蒸發(fā)及其相關(guān)輔助設(shè)備的維修維護；
8、濺射與蒸發(fā)設(shè)備與工藝的對外宣傳與科普；
9、濺射與蒸發(fā)及其相關(guān)輔助設(shè)備的規(guī)劃、調(diào)研；
10、完成國家、省部級相關(guān)設(shè)備能力認證項目或校內(nèi)外測試分析實驗技術(shù)相關(guān)課題；
11、整理和推廣實驗成果；
12、領(lǐng)導交辦的其他工作。